X射线荧光光谱仪是公认的RoHS筛选检测仪器，由于其检测速度快、分辨率高、实施无损检测，所以被广泛采用。X线荧光光谱仪品牌繁多，以至于分不出谁好谁差了。在《电子信息产品有毒有害物质的检测方法》IEC62321标准文本里提到：“用能量散射X射线荧光光谱法（ED－XRF）或波长散射X射线荧光光谱法（WD－XRF）对试样中目标物进行测试，可以是直接测量样品（不破坏样品），也可以是破坏样品使其达到”均匀材料”（机械破坏试样）后测试。”能真正准确无误地将试样筛选出合格、不合格、不确定三种类型，而且能限度地缩小“不确定”部分就是好仪器。在保证既定准确度的情况下尽可能快速检测。尤其是企业选购，光谱仪是做日常RoHS监督检测用，非常看重这一点。所以，能够准确无误地将试样筛选出合格、不合格、不确定三种类型，又能限度地缩小“不确定”部分，而且全部过程是在较短的时间内完成的X射线荧光光谱仪是满足使用要求的光谱仪。

性能无疑是评估光谱仪非常重要的指针性能优异的光谱仪做筛选检测能准确无误地排查合格和不合格，并将不确定的灰色部分压缩到*小；
有的光谱仪铅砷不分、镉的特征谱线与X光管铑电极的特征谱线重迭等。经常误判；
有的光谱仪检测镉的灵敏度不够高，不能准确判定镉；
大部分光谱仪的检测稳定性受到X光管老化、环境温度、电源波动等影响，使数值不准。
由于性能不足，可能发生错判、误判、无法判定等事件频发，不确定的灰色部分比例大增。其后果必然是成本显著提高、风险增加。

关键性能参数目前X线荧光光谱仪基本上采用铑靶X光管，有钨靶X光管的。
A．铑（Rh）靶：铑的特征谱线与镉的特征谱线重迭；测试需要专用滤波器。
B．钨（W）靶：钨的特征谱线与铅，汞的特征光谱重迭，但发射强度高。
A．SDD：
B．SSD：
C．Si-PIN：

老的PIN探测器分辨率差，稳定性差，并且对测试重金属的灵敏度不够高。PIN探测器是具有PIN结构的（其中间层实际上是高阻的全耗尽层，其载流子很少，与本征层和绝缘体层有类似之处）用于探测光和射线的探测器件。硅PIN探测器室温下的漏电流在纳安（nA）数量级，比其上一代的硅面垒探测器要小差不多3个数量级，是硅面垒探测器的换代产品，但是PIN探测器的电容仍然和面垒探测器一样，随探测器面积的增大而正比增大，这导致探测器噪声还是偏大，同时成形时间常数不能太小因而计数率不能高。这就是PIN探测器不仅在技术上而且在性能上也要比硅漂移探测器差整整一代的原因。