1、XRF镀层测厚仪准直器

仪器产生的光斑尺寸应在需要测量的部件的尺寸范围内。如果光斑尺寸大于所聚焦的区域，则测量结果将失去准确性，因为分析仪将纳入部件外周围区域的成分。即便其只是空气，相关的测量结果也会受到影响。准直器是XRF镀层测厚仪的一部分，用于将X射线导向样品并限定光斑尺寸。

XRF镀层测厚仪准直器

准直器主要是一个金属块，上面有一个精准的钻孔。其可阻挡部分X射线信号，只允许少量X射线穿过准直器到达样品。准直器尺寸与光斑尺寸比较许多XRF镀层测厚仪均配有一系列不同尺寸的准直器，以便在测量不同尺寸样品时选择。这可以确保通过优化准直器的选择，在每次测量时获得良好精密度（将在本指南后文更全面地讨论详情）。但这并不像为0.3mm（12mil）部件选择0.3mm（12mil）准直器那般简单。实际上，当X射线穿过准直器到达至样品表面时，会存在光束发散，因此需要在进行准直器选择时考虑这一点。

2、XRF镀层测厚仪探测器选择

XRF镀层测厚仪比例计数器

硅漂移探测器：存在多种不同的半导体探测器，但我们会考虑使用硅漂移探测器或SDD，因为它是较常见的一种探测器。当SDD受到X射线照射时，探测器材料发生电离，产生一定数量的电荷。电荷量与样品中的元素含量相关。

XRF镀层测厚仪硅漂移探测器

本质上而言，XRF镀层测厚仪比例计数器（PC）对于元素种类很少的简单分析而言非常有效。它们可以提高锡或银等高能量元素的灵敏度，尤其是使用小型准直器测量时，而SDD则更适合用于磷。比例计数器的成本低于SDD型的成本。但SDD可提供更好的分辨率——即测量谱图会更清晰。如果样品中存在几个元素，则这一特点更显得非常重要。下图展示两者的不同之处：

不同探测器的区别

在图中，红色谱峰是使用SDD获得的结果；灰色是用比例计数器测量的同一样品谱图。SDD不会像比例计数器那样易受到大气温度变化的显著影响。在检出限非常低的情况下，这一特点非常重要。因此，对于非常薄或复杂的镀层，SDD是优质选择。